文/新戰(zhàn)略機器人全媒體實習記者 北棠
伴隨著自動化改造熱潮的興起，AGV+機械手集“手腳”兩項功能于一身的復合型機器人也越來越被各行業(yè)追捧。從行業(yè)需求上來看，汽車和半導體等電子設(shè)備對機器人的需求日益增長，其中復合機器人成為半導體行業(yè)應用較為成熟的智能設(shè)備。
半導體行業(yè)對機器人的應用要求
半導體行業(yè)包括了眾多領(lǐng)域，在這些領(lǐng)域當中又有著很多復雜的工序，比如前期的晶體制造、中期的封裝集成，還有后期的組裝包裝、運輸?shù)鹊取?/span>機器人進軍半導體行業(yè)既是一種挑戰(zhàn)也是一種趨勢，機器人本身需要具有易使用、性能靈活輕便，不僅要滿足無塵空間的等級要求，還要小心易碎的產(chǎn)品，對極為細微的器件需要高度精準地定位、放置和組裝。
半導體行業(yè)對工業(yè)機器人的要求十分嚴格，在真空環(huán)境下，要保證機器人的潔凈度，因為半導體產(chǎn)品的特殊性，還要求機器人防震，防抖動，靜音生產(chǎn)，能夠有精準到5mm的重復定位等等。
復合型機器人在半導體行業(yè)中的應用
復合型機器人作為新型物流設(shè)備，柔性程度高，適應能力強，融合了智能驅(qū)動導航技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)，可實現(xiàn)物料的自動搬運、智能分揀，已廣泛應用在國際知名半導體行業(yè)中，并取得了較好應用效果。
根據(jù)中國移動機器人（AGV）產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、新戰(zhàn)略機器人產(chǎn)業(yè)研究所數(shù)據(jù)統(tǒng)計，目前全球半導體行業(yè)中AGV和機械手組合的復合型機器人的應用已經(jīng)達到約5000臺，松下、西門子、富士通、環(huán)旭電子、華通科技、晶元光電等半導體企業(yè)，都將相關(guān)的AGV機器人應用到了生產(chǎn)中。
在半導體行業(yè)中AGV移動機器人應用最普遍，AGV傳送自動化也是傳送系統(tǒng)自動化的一項內(nèi)容，它已成為了現(xiàn)代化半導體工廠自動化系統(tǒng)中最大的單項投資項目。
移動搬運機器人（AGV）為半導體產(chǎn)品提供物流支持，可以實現(xiàn)車間內(nèi)、車間與車間的自由移動。物流設(shè)備自動化通常和傳統(tǒng)流水線，自動立體庫，AGV小車等其他傳送相關(guān)的執(zhí)行器，包括如何將其運送到工藝設(shè)備端或者在不同的存儲區(qū)域之間進行調(diào)度，以及晶片在工藝設(shè)備內(nèi)部的傳送（包括物料緩沖區(qū)，裝載端口，晶片傳送機械手臂等）。
半導體加工環(huán)境要求在其內(nèi)運行的設(shè)備需要具有高潔凈等級、防靜電、高可靠性等特點。所以在IC環(huán)境下所用的復合機器人在滿足基本搬運要求的同時還要兼顧上述特點。
在半導體生產(chǎn)車間中，AGV移動機器人的輪子要符合標準，調(diào)控必須便利，還必須是無軌導航。這樣一系列的高標準讓不少機器人企業(yè)望而卻步，但從另一個角度看，這說明半導體行業(yè)“門檻較高”，這也給復合機器人企業(yè)的進入設(shè)定了一定的條件。
新松為半導體行業(yè)開發(fā)的真空機器人及復合機器人
潔凈（真空）機器人及半導體裝備作為新松公司的核心業(yè)務之一，現(xiàn)已形成大氣機械手、真空機械手、EFEM、真空平臺、STOCKER和AMHS系統(tǒng)多個產(chǎn)品線。潔凈產(chǎn)品客戶現(xiàn)已遍及大陸以及臺灣地區(qū)。
目前，新松潔凈機器人已徹底打破國外同類企業(yè)在半導體領(lǐng)域的壟斷局面，擁有國內(nèi)市場50%以上份額。
新松復合機器人基于移動機器人和工業(yè)機器人系統(tǒng)的創(chuàng)新融合，綜合視覺補償、力覺控制、碰撞保護和主動導航等技術(shù)，可快速布局自動化工廠，適應高柔性化生產(chǎn)模式，主要應用于半導體封裝測試環(huán)節(jié)，可滿足FOUP,CST,MGZ在各機臺間的自動運輸，終端定位精度可達±0.05mm，CLASS 100潔凈度，能為半導體生產(chǎn)應用提供最優(yōu)的系統(tǒng)解決方案。
目前，新松的復合機器人在半導體行業(yè)也有大量應用。
